在受控環境中安全、無污染地移動重型設備

無塵室環境需要精確的控制、零地面破壞,以及最少的微粒產生。

為何選擇我們的無塵室搬運解決方案?

無塵室環境要求極為嚴格的污染控制。傳統的輪式或叉式搬運設備很容易產生微粒、震動和靜電,進而影響半導體、製藥和航太等產業的精密製造。我們的氣動腳輪和氣膜搬運器採用氣膜浮動技術,提供無摩擦、無震動、無排放的搬運方式。它們完全適用於 ISO 1-5 級無塵室,可確保精確的設備定位,同時維持無塵環境。

  • 專為無塵室環境設計
  • 半導體與製藥廠的可靠效能
  • 提供可客製化的負載能力和配置
  • 無塵室相容材料與表面處理
  • 佈局和負載分析的工程支援
  • 可靠的製造商和長期供應商
更精細的空氣溜冰鞋應用照片
空氣軸承模組應用

無塵室應用

考慮到無塵室作業的要求,設計的重點在於低微粒排放、無痕接觸面以及可控制的移動。材料選擇和系統配置可根據特定的無塵室分類和工業標準進行調整。

  • 半導體製造
  • 光刻和蝕刻工具
  • 製藥生產設備
  • 醫療器材製造
  • 晶圓加工設備
  • 光學與雷射設備
  • 精密測試設備

我們的無塵室相容解決方案

氣動腳輪:

氣動腳輪可在負載與地面之間形成平滑的氣膜。這可讓重型設備在移動時不費吹灰之力。這不僅能防止輪子磨損,還能大大降低微粒的產生。因此,它們非常適合無塵室環境。

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空氣薄膜移動器:

氣膜移動器將多個氣墊腳輪整合到模組化平台上,適合移動大型或不規則形狀的無塵室設備。

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電池供電的機器溜冰鞋:

對於壓縮空氣有限或空間有限的無塵室,電池供電的機器滑板可提供精準、低噪音且可控制的移動。

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更精細的空氣腳輪索具系統

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