在受控環境中安全、無污染地移動重型設備
無塵室環境需要精確的控制、零地面破壞,以及最少的微粒產生。
為何選擇我們的無塵室搬運解決方案?
無塵室環境要求極為嚴格的污染控制。傳統的輪式或叉式搬運設備很容易產生微粒、震動和靜電,進而影響半導體、製藥和航太等產業的精密製造。我們的氣動腳輪和氣膜搬運器採用氣膜浮動技術,提供無摩擦、無震動、無排放的搬運方式。它們完全適用於 ISO 1-5 級無塵室,可確保精確的設備定位,同時維持無塵環境。
- 專為無塵室環境設計
- 半導體與製藥廠的可靠效能
- 提供可客製化的負載能力和配置
- 無塵室相容材料與表面處理
- 佈局和負載分析的工程支援
- 可靠的製造商和長期供應商
無塵室應用
考慮到無塵室作業的要求,設計的重點在於低微粒排放、無痕接觸面以及可控制的移動。材料選擇和系統配置可根據特定的無塵室分類和工業標準進行調整。
- 半導體製造
- 光刻和蝕刻工具
- 製藥生產設備
- 醫療器材製造
- 晶圓加工設備
- 光學與雷射設備
- 精密測試設備
